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J-GLOBAL ID：200903053104637371

磁気抵抗効果多層膜

Inventor： 川田 常宏 ,  三俣 千春 ,  藤井 重男
Applicant, Patent owner： 日立金属株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000071401
Publication number (International publication number)：2001267126
Application date： Mar. 15, 2000
Publication date： Sep. 28, 2001
Summary：

【要約】【課題】 X-Mnタイプの反強磁性材料を使用したスピンバルブ型磁気抵抗効果多層膜において交換結合磁界を向上する。【解決手段】 基板上に下地層、強磁性体層(フリー層)、非磁性層、強磁性体層(ピン層)、反強磁性体層および保護層の順で積層された多層膜構造において、磁界中熱処理がスピンバルブの特性に悪影響をおよぼさないように、保護膜を結晶化させた構造とする。

Claim (excerpt)：

磁気抵抗効果を発生する強磁性体層と前記強磁性体層に直接接する反強磁性体層とを備えた磁気抵抗効果多層膜において、前記反強磁性体層はX(白金、パラジウム、イリジウム、ロジウム、ルテニウム、オスミウムのうちいずれか1種または2種以上の元素)とMnの合金からなり且つ熱処理されたものであり、前記反強磁性体層と直接接する保護膜を有し、前記保護膜はIV 、V、VI属の金属元素のうちいずれか1種または2種以上で構成され、前記保護膜の少なくとも一部は結晶化していることを特徴とする磁気抵抗効果多層膜。

IPC (4)：

H01F 10/12 ,  G01R 33/09 ,  G11B 5/39 ,  H01L 43/08

FI (4)：

H01F 10/12 ,  G11B 5/39 ,  H01L 43/08 Z ,  G01R 33/06 R

F-Term (13)：

2G017AD54 ,  2G017AD63 ,  2G017AD65 ,  5D034BA05 ,  5D034BA17 ,  5D034DA07 ,  5E049AA10 ,  5E049AC05 ,  5E049BA12 ,  5E049CB01 ,  5E049DB02 ,  5E049DB12 ,  5E049JC01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 磁気抵抗効果膜
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-099951   Applicant：日立金属株式会社
• 薄膜導体層及び前記薄膜導体層を用いた磁気抵抗効果素子並びに薄膜導体層の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-184391   Applicant：アルプス電気株式会社
• 磁気抵抗効果型ヘッド
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-073176   Applicant：ティーディーケイ株式会社