多軸駆動のためのシングルステージマイクロアクチュエータ

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：磯野道造
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001203581
Publication number (International publication number)：2002140844
Application date： Jul. 04, 2001
Publication date： May. 17, 2002
Summary：

【要約】【課題】多軸駆動のためのシングルステージマイクロアクチュエータを提供する。【解決手段】四角形のステージ41の近傍部に備えられ、この近傍部に配列される複数の駆動フレーム部33,36と、駆動メインフレーム部33,36に交互に配列される複数の固定フレーム部21,24と、前記駆動フレーム部33,36の各駆動フレームに備えられ、垂直な方向に延びたくし状の駆動電極35と、前記くし状の駆動電極35と交互に平行に配列されるくし状の固定電極23と、ステージ41の一側部に対して垂直な方向への弾性復原力を提供する複数のくし状の方向変形スプリング部37とを具備する。

Claim (excerpt)：

基板と、前記基板の中央部分に設けられる固定電極板と、前記固定電極板の上方に配置され、第1方向の側部と前記第1方向に垂直な第2方向の側部とを有する四角形のステージと、前記ステージの第1方向の2つの側部と第2方向の2つの側部の近傍部に設けられ、前記各側部の近傍部に隣接するステージの各側部に対応して平行に配列される複数の駆動フレームを具備してなる複数の駆動フレーム部と、前記ステージの各側部と、各側部に対応する各駆動フレーム部の内側部との間に備えられ、前記ステージの対応する側部に垂直方向に延びる複数のスプリング部材を具備してなる、くし状で垂直方向に変形可能な複数のスプリング部と、前記ステージの各側部の近傍部に備えられた駆動フレーム部に対応する複数の駆動フレームに平行に交互に配列される複数の固定フレームを具備してなる複数の固定フレーム部と、前記駆動フレーム部の各駆動フレームに備えられ、前記ステージの各側部の各近傍部で垂直な方向に延びる駆動用の駆動くし状電極と、前記固定フレーム部の各固定フレームに備えられ、前記駆動用のくし状電極と平行に交互に固定して配列されたくし状の固定電極と、前記ステージに向かう前記各駆動フレーム部の一側とその反対方向の他側に各々備えられ、前記各近傍部に対応するステージの一側部に対して垂直な方向に作用する弾性復原力を生起する複数のくし状の方向変形スプリング部とを具備して構成されたことを特徴とするシングルステージマイクロアクチュエータ。

IPC (4)：

G11B 9/14 , G01N 13/10 , G02B 21/26 , G12B 5/00

FI (4)：

G11B 9/14 F , G01N 13/10 C , G02B 21/26 , G12B 5/00 T

F-Term (7)：

2F078CA08 , 2F078CB04 , 2F078CB09 , 2F078CB11 , 2F078CC04 , 2H052AA07 , 2H052AD18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

特開平1-107188
ライトバルブ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-273184 Applicant：キヤノン株式会社

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