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J-GLOBAL ID：200903053121708703
吸着固定装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
志賀 正武 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000166708
Publication number (International publication number)：2001341043
Application date： Jun. 02, 2000
Publication date： Dec. 11, 2001
Summary：
【要約】【課題】 突起上面等の板状試料と接触する面の化学的、機械的特性を低下させることなく、また過度のガスを導入することなく、板状試料の面内温度の微少領域における均一性を向上させることができ、しかも充分な吸着力と電圧印加中止後の脱離性(静電チャックの場合)とを備えた吸着固定装置を提供する。【解決手段】 平面基台と、平面基台の吸着領域に突設された多数の突起5とを備え、突起5に板状試料を吸着させる。突起5の上面13は、試料保持面14と凹部15とからなる。
Claim (excerpt)：
平面基台と、前記平面基台の吸着領域に突設された多数の突起とを備え、前記多数の突起上に板状試料を吸着させる吸着固定装置であって、前記突起の上面は、試料保持面と凹部とからなることを特徴とする吸着固定装置。
IPC (2)：
FI (3)：
B23Q 3/15 D
, H01L 21/68 P
, H01L 21/68 R
3C016DA01
, 3C016GA10
, 5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031HA08
, 5F031HA13
, 5F031HA16
, 5F031HA37
, 5F031MA28
, 5F031MA32
, 5F031MA34
, 5F031PA26
