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J-GLOBAL ID：200903053134769574
レーザ光位置制御装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993166732
Publication number (International publication number)：1995020403
Application date： Jul. 06, 1993
Publication date： Jan. 24, 1995
Summary：
【要約】【目的】サブミクロン単位の位置制御を容易に実現できるようにする。【構成】ビーム整形部1によって平行ビームに整形されたレーザ光10は、光路変位板2を透過してミラー3により反射した後、集光部4により縮小されて結像面5上に微少スポットとして集光される。光路変位板2は、石英ガラス等の透明な材料によって直方体に形成されており、図示しない角度制御機構によって配置角度が制御される。光路変位板2を角度Δθだけ傾けたとき、レーザ光は光路変位板2によって屈折し、角度θが0のときの光路に対してΔhだけ平行に変位する。変位Δhは集光部4によって所定縮小倍率だけ縮小される。
Claim (excerpt)：
配置角度を変化させたとき出射光を入射光に対し平行に変位させる光路変位板と、この光路変位板の出射光を所定の縮小倍率で縮小して結像面上に集光する集光手段とを備えることを特徴とするレーザ光位置制御装置。
IPC (3)：
G02B 26/10 108
, G02B 26/08
, G02B 27/00
