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J-GLOBAL ID：200903053140043143

光ファイバーマトリックス投影露光装置

Inventor：
堀内 敏行

About 堀内 敏行


Applicant, Patent owner：
学校法人東京電機大学

About 学校法人東京電機大学


Agent (1)： 三好 秀和 (外8名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001045195
Publication number (International publication number)：2001313251
Application date： Feb. 21, 2001
Publication date： Nov. 09, 2001
Summary：
【要約】【課題】 高価でパタン修正や変更ができないレチクルを用いなくても、投影露光による任意パタンの形成を可能とする。【解決手段】 光ファイバー群の射出口をマトリックス状に並べて配置し、各光ファイバー素線への光の供給、非供給を制御しながら、光ファイバー群と被露光基板との相対位置を順次変え、被露光基板を所望のパタン形状に露光し、任意パタンを形成する。
Claim (excerpt)：
射出口を配列した光ファイバー群と、該光ファイバー群の射出口の明暗を投影して被露光基板上に光像を形成する投影光学系と、前記光ファイバー群の射出口と被露光基板とを相対的に移動させる機構と、所要位置への光像形成のための前記光ファイバー群の射出口と被露光基板との相対的移動に伴って、前記光ファイバー群の各光ファイバー素線への光の供給を制御する露光制御手段とを有することを特徴とする光ファイバーマトリックス投影露光装置。
IPC (5)：
H01L 21/027 ,  G02B 6/04 ,  G02B 6/42 ,  G03F 7/20 501 ,  H01L 33/00
FI (5)：
G02B 6/04 B ,  G02B 6/42 ,  G03F 7/20 501 ,  H01L 33/00 M ,  H01L 21/30 515 D
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
  • 特公昭49-012052
  • 特開昭57-176721
  • レーザ製版装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-231461   Applicant：旭化成工業株式会社
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