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J-GLOBAL ID：200903053147008645
冷却試料観察装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997252962
Publication number (International publication number)：1999096953
Application date： Sep. 18, 1997
Publication date： Apr. 09, 1999
Summary：
【要約】【課題】 試料を冷却した状態で観察する装置において、極低温からたとえば100K程度までの幅広い温度範囲と、少ない冷媒消費量を達成すること。【解決手段】 試料微動ステージ12上に断熱支持部材32を介して熱シールド部3、熱シールド部3の内部に断熱支持部材22を介してヒーター23を内蔵した試料冷却部21を有し、液体状冷媒容器4と熱シールド部3は高熱伝導部材33を介して、試料冷却部21と気体状冷媒流路5は直接高熱伝導的に結合されている。気体状冷媒50は液体状冷媒容器4から気体状冷媒流路5に導かれて試料冷却部21を冷却し、流量調節バルブ51を通して排出される。
Claim (excerpt)：
試料もしくは試料ホルダを冷却する試料冷却部と熱シールド部からなる試料冷却ステージを内部に有する試料観察装置と、該試料観察装置と一体的に設置された液体状冷媒容器と、気体状冷媒流路とを有する冷却試料観察装置であって、前記熱シールド部は略中空構造をなし前記試料観察装置から断熱的に保持されかつ前記液体状冷媒容器と高熱伝導部材で連結され、前記試料冷却部は前記熱シールド部の内部に断熱的に保持され前記液体状冷媒容器とは断熱されかつ前記気体状冷媒流路とは高熱伝導的に連結され、該気体状冷媒流路が気体状冷媒供給側にて前記液体状冷媒容器を経由しており、該気体状冷媒流路が気体状冷媒供給側あるいは排出側の少なくとも一方に気体状冷媒の流量を調節するバルブを有していることを特徴とする冷却試料観察装置。
FI (2)：
H01J 37/20 E
, H01J 37/20 A
