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J-GLOBAL ID：200903053156216110
高周波コイルおよびその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大塚 康徳 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993190366
Publication number (International publication number)：1995045434
Application date： Jul. 30, 1993
Publication date： Feb. 14, 1995
Summary：
【要約】【目的】 Qの高い高周波コイルを低コストで提供する。【構成】 所定サイズの基板1の一方の面の端部近傍から中央部へ、厚膜技術によって両信号導体4,6を所定の厚さにパターン形成し、両信号導体4,6を略覆うように、所定の厚さの層間絶縁膜3をパターン形成する。続いて、薄膜技術によって、その両端部近傍が両信号導体4,6の一部へそれぞれ重畳するように、層間絶縁膜3上へコイル導体パターンを形成した後、めっきによって、該コイル導体の膜厚を所定の厚さにすることで、コイル導体2を形成する。さらに、基板1の端部近傍において、両信号導体4,6のそれぞれに重畳するように電極5を形成する。
Claim (excerpt)：
所定サイズの絶縁基板に形成した高周波コイルであって、前記絶縁基板の一方の面の端部近傍から略中央部へ形成した少なくとも二つの下部導体と、前記下部導体を略覆うように形成した絶縁膜と、その端部近傍それぞれが異なる前記下部導体の一部へ重畳するように前記絶縁膜上へ形成した少なくとも一つのコイル導体と、前記絶縁基板の端部近傍において前記下部導体のそれぞれに重畳するように形成した少なくとも二つの電極とを有することを特徴とする高周波コイル。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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