Pat

J-GLOBAL ID：200903053168115069

収差測定装置

Inventor： 湯原 由美子
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 佐藤 正年 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993079146
Publication number (International publication number)：1995146213
Application date： Mar. 13, 1993
Publication date： Jun. 06, 1995
Summary：

【要約】【目的】 収差測定装置における、主にコリメ-タレンズに起因する使用制限を解消すると共に、装置全体をコンパクトにすること。【構成】 平行光束からなる検査光を生じさせる光源手段と、互いに直交する少なくとも二つの反射面を有する反射手段と、反射手段の二つの反射面で反射された検査光を被検査対象に入射させる光学手段とを備え、反射手段の位置を変化させることにより被検査対象への検査光の入射位置を変化させ、焦点位置近辺に収束する状態を各々検出することにより、被検査対象の収差の状態を測定する収差測定装置。

Claim (excerpt)：

被検査対象に対して異なる複数の位置に入射させた検査光束が、被検査対象によりその焦点位置近辺に収束する状態を各々検出することにより、被検査対象の収差の状態を測定する収差測定装置において、平行光束からなる検査光を生じさせる光源手段と、互いに直交する少なくとも二つの反射面を有する反射手段と、前記反射手段の位置を移動させる移動手段と、前記反射手段の一方の反射面に前記検査光を入射させると共に、反射手段の二つの反射面で反射された検査光を被検査対象に入射させる光学手段とを備え、前記移動手段により反射手段の位置を変化させることにより、前記被検査対象への検査光の入射位置を変化させることを特徴とする収差測定装置。