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J-GLOBAL ID：200903053176159270

焦点位置検出装置

Inventor： 大滝 達朗
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992334837
Publication number (International publication number)：1994186472
Application date： Dec. 16, 1992
Publication date： Jul. 08, 1994
Summary：

【要約】【目的】 対物光学系が交換された場合でも、検出用の像の明るさ及び焦点ずれの検出精度が変わらないようにする。【構成】 対物レンズ2により標本1の像7を結像し、レンズ8a〜8cよりなるリレーレンズ系によりその像7のリレー像11Aを結像する。レンズ8bとレンズ8cとの間に形成される対物レンズ2の瞳面9と共役な面上に、絞り10を配置し、絞り10によりそのリレーレンズ系の像11A側の開口数を一定にする。リレー像11Aと共役なリレー像を別途結像し、それらリレー像の前後に焦点ずれした像を受光素子で検出し、焦点ずれした像が等しくなるようにする。

Claim (excerpt)：

物体からの光を集光し前記物体の像を形成する対物光学系と、該対物光学系により形成される像を光電的に検出する光電検出器とを有し、前記対物光学系の結像位置を検出する焦点位置検出装置において、前記対物光学系と前記光電検出器との間に前記対物光学系により形成される物体の像を再結像する再結像光学系を配置し、前記再結像光学系は、前記対物光学系からの光を集光する第1光学系と該第1光学系からの集光された光を結像する第2光学系とを有し、前記第1光学系と前記第2光学系との間に形成される前記対物光学系の瞳面と共役な面に絞り手段を配置したことを特徴とする焦点位置検出装置。

IPC (3)：

G02B 7/32 ,  G01B 11/00 ,  G01C 3/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-001809
  
• 特開平2-006709
  
• 焦点検出手段を有した観察装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-259653   Applicant：キヤノン株式会社