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J-GLOBAL ID：200903053182348378

ボンディング用照明装置及びボンディング用照明装置の較正方法

Inventor： 原口 学 ,  吉田 悦郎
Applicant, Patent owner： 株式会社新川
Agent (2)： 吉田 研二 ,  石田 純
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003080663
Publication number (International publication number)：2004288976
Application date： Mar. 24, 2003
Publication date： Oct. 14, 2004
Summary：

【課題】複数の光源によるボンディング用照明において、受光器を増やすことなく、各光源の光量の変化を較正することである。【解決手段】撮像機の撮像範囲に少なくとも光源の数と等しい数の較正領域を設定する。また、各較正領域の輝度Biと各光源の各光量Ljとを結びつける輝度係数aijを予め求めておく。チップを各光源で照明し(S30)撮像機で撮像する(S32)。撮像データから各較正領域の輝度Biを検出し(S34)、検出された各輝度Biと、各輝度係数aijとに基づき、各光量Ljを算出する(S36)。算出された各光量と最適照明条件における光量とを比較し、各光量の変化に応じ、各照明の光量設定が較正される(S38)。輝度に代わり、各較正領域内における2領域の輝度の差である輝度差を用いることもできる。【選択図】 図5

Claim (excerpt)：

光量を可変できる複数の光源と、 複数の光源により照明されたボンディング部を撮像する撮像機と、 撮像データ上に、少なくとも光源の数と等しい数の較正領域を設定し、各較正領域ごとに、その撮像データから光量と線形関係を有する物理量を検出する光量関係量検出手段と、 複数の較正領域の各物理量と、複数の光源の各光量とを結びつける複数の物理量係数を求め記憶する記憶手段と、 複数の物理量係数を用い、検出された複数の物理量から複数の光源の各光量を算出する光量算出手段と、 算出された各光量の変化に応じて各光源の光量設定を較正する較正手段と、 を備えることを特徴とするボンディング用照明装置。

IPC (5)：

H01L21/60 ,  G01N21/84 ,  G01N21/956 ,  H01L21/52 ,  H04N7/18

FI (5)：

H01L21/60 301L ,  G01N21/84 E ,  G01N21/956 A ,  H01L21/52 F ,  H04N7/18 K

F-Term (16)：

2G051AA61 ,  2G051AA90 ,  2G051BA01 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051EA12 ,  2G051EA16 ,  2G051EA23 ,  2G051ED03 ,  5C054CB01 ,  5C054HA01 ,  5C054HA05 ,  5F044DD01 ,  5F044DD02 ,  5F044DD20 ,  5F047FA71