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J-GLOBAL ID：200903053182842674
固定磁気ディスクおよびその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
森本 義弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991333792
Publication number (International publication number)：1993166168
Application date： Dec. 18, 1991
Publication date： Jul. 02, 1993
Summary：
【要約】【目的】製造行程を複雑化せず耐久性や硬度など信頼性に優れ、かつ高密度磁気記録を可能にする。【構成】ディスク基板上41にNaCl型結晶構造の酸化物薄膜としてのNiO膜42を形成し、このNiO膜42上にスピネル型結晶構造の酸化鉄軟磁性薄膜としてのNi-Znフェライト膜43を形成し、さらにこのNi-Znフェライト膜43上に、ディスク基板表面に対して垂直方向に柱状構造を有した亜鉛とコバルトを含むスピネル型結晶構造の酸化鉄磁性薄膜としてのCo-Znフェライト膜44を形成した構造の固定磁気ディスクを、β-ジケトン金属錯体の蒸気と反応ガスとしての酸素またはオゾンまたはN2 Oの混合ガスをプラズマ中で分解して反応させることにより作製する。
Claim (excerpt)：
ディスク基板上にスピネル型結晶構造の酸化鉄軟磁性薄膜を設け、前記酸化鉄軟磁性薄膜上に、ディスク基板表面に対して垂直方向に柱状構造を有した亜鉛とコバルトを含むスピネル型結晶構造の酸化鉄磁性薄膜を設けた固定磁気ディスク。
IPC (3)：
G11B 5/66
, G11B 5/85
, H01F 10/20
