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J-GLOBAL ID:200903053193004476

光走査型二次元濃度分布測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 藤本 英夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997275299
Publication number (International publication number):1999094793
Application date: Sep. 22, 1997
Publication date: Apr. 09, 1999
Summary:
【要約】【課題】 微小領域における現象を高速かつ精度よく測定することができるコンパクトな構成の光走査型二次元濃度分布測定装置を提供すること。【解決手段】 センサ部1を、複数の短冊状のセンサ6を互いに並列に配置してなるセンサアレイ2と、前記センサ6の配置方向と直交する方向に互いに並列に配置され同時点灯する複数のLEDアレイ3A,3Bからなる光照射部2とから構成するとともに、高速の信号処理および画像処理のソフトウェアを備えている。
Claim (excerpt):
センサ部を、複数の短冊状のセンサを互いに並列に配置してなるセンサアレイと、前記センサの配置方向と直交する方向に互いに並列に配置され同時点灯する複数のLEDアレイからなる光照射部とから構成するとともに、高速の信号処理および画像処理のソフトウェアを備えたことを特徴とする光走査型二次元濃度分布測定装置。
FI (2):
G01N 27/46 U ,  G01N 27/46 353 Z

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