Pat

J-GLOBAL ID：200903053216830360

洗浄乾燥方法及び洗浄乾燥装置

Inventor： 町野 勝弥
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995019110
Publication number (International publication number)：1996211592
Application date： Feb. 07, 1995
Publication date： Aug. 20, 1996
Summary：

【要約】【目的】 有機系塵埃の洗浄も含めて被洗浄物を衛生上及び火災上の危険性が少ない方法で洗浄し乾燥する。【構成】 洗浄槽2に投入された第1成分(イソプロピルアルコール)33と第2成分(水)34とからなる共沸混合液1を、加熱ヒータ11及び液温度センサ10aを用いて共沸点まで加熱し、発生する蒸気層1a中に被洗浄物としての原版4をさらして、混合液1の蒸気により原版4を洗浄する。原版4の洗浄に使用されて液化した混合液を、凝縮液受け5を介して、洗浄槽2の外部に排出する。蒸気層1aから原版4を引き上げて水切り乾燥を行う。

Claim (excerpt)：

少なくとも2種類の共沸する液体を所定の混合比で混合した共沸混合液の液相中又は気相中に被洗浄物を浸して洗浄した後、前記被洗浄物を乾燥することを特徴とする洗浄乾燥方法。

IPC (5)：

G03F 1/08 ,  B08B 3/08 ,  F26B 7/00 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 351