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J-GLOBAL ID：200903053232142377

微分干渉顕微鏡

Inventor： 吉山 正一
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 福島 康文
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992107905
Publication number (International publication number)：1993303040
Application date： Apr. 27, 1992
Publication date： Nov. 16, 1993
Summary：

【要約】【目的】微小な凹凸差を検出するのに適する微分干渉顕微鏡に関し、試料表面上の任意の位置を、試料台を回転させることなしに、多方向から微分干渉計測できるようにすることを目的とする。【構成】前後左右に移動可能な試料台9に対向して対物レンズ2を配設し、該対物レンズ2と同じ光軸上に偏光分離プリズム1およびハーフミラー4を配設し、該ハーフミラー4に光源から光を導く偏光子6と、該ハーフミラー4で導かれた光線を検出する検光子5を備えた微分干渉顕微鏡において、偏光子6、偏光分離プリズム1および検光子5が、光軸を中心にして同じ方向に同期して回転する構成とする。

Claim (excerpt)：

前後左右に移動可能な試料台(9) に対向して対物レンズ(2)を配設し、該対物レンズ(2) と同じ光軸上に偏光分離プリズム(1) およびハーフミラー(4) を配設し、該ハーフミラー(4) に光源から光を導く偏光子(6) と、該ハーフミラー(4) で導かれた光線を検出する検光子(5) を備えた微分干渉顕微鏡において、偏光子(6) 、偏光分離プリズム(1) および検光子(5) が、光軸を中心にして同じ方向に同期して回転する構造としたことを特徴とする微分干渉顕微鏡。

IPC (2)：

G02B 21/00 ,  G01B 9/04