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J-GLOBAL ID:200903053247889134

硬質物質層の製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 矢野 敏雄 (外3名)
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):1995516469
Publication number (International publication number):1997506669
Application date: Dec. 15, 1994
Publication date: Jun. 30, 1997
Summary:
【要約】本発明は、部品上に多様な及び組み合わされた種類の摩耗に対する広範囲の保護を形成する硬質物質層を製造する低温方法に関する。このため、付着層、耐摩耗性の硬質機能層及び摩擦の少ない表面層からなる硬質物質層は、組み合わされたPVD-及びCVD被覆方法により及び同時のエネルギー的イオン処理により製造されることが考慮される。
Claim (excerpt):
硬質物質層内に、付着層(14)、耐摩耗性の機能層(16)及び摩擦の少ない表面層(18)を、組み合わせた低温-PVD-及びCVD-被覆方法により製造することを特徴とする、部品上に硬質物質層を製造する方法。
IPC (2):
C23C 14/06 ,  C23C 14/22
FI (4):
C23C 14/06 A ,  C23C 14/06 B ,  C23C 14/06 C ,  C23C 14/22 A
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開昭62-218549
  • 特開平4-337064

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