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J-GLOBAL ID：200903053302862771

表面検査方法

Inventor： 石川 進太郎
Applicant, Patent owner： 住友金属鉱山株式会社
Agent (1)： 上田 章三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004086124
Publication number (International publication number)：2005274256
Application date： Mar. 24, 2004
Publication date： Oct. 06, 2005
Summary：

【課題】 被検査物表面における欠陥の有無と欠陥が凸状か凹状かを判定し、欠陥の寸法も計測可能な表面検査方法を提供する。【解決手段】 被検査物1に対向して配置された同軸落射照明手段3付き撮像カメラ2と、被検査物に対し斜め方向からコリメートされた光を照射する1以上の斜光照明手段4を備える表面検査装置を用い検査する方法で、同軸落射照明を行いながら撮像カメラで被検査物の表面を撮像しその画像から欠陥の有無と欠陥寸法を測定する工程、斜光照明手段からコリメートされた光を照射させながら被検査物の表面を撮像しその画像から欠陥が凸状か凹状かを判定する工程、上記斜光照明により形成された欠陥の影寸法から欠陥の高さ寸法若しくは深さ寸法を測定する工程、の各工程を具備することを特徴とする。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

互いに直交するX,Y,Z軸で示される空間のXY平面上に載置された被検査物の上面に正対するように配置されその光軸方向がZ軸方向に設定された同軸落射照明手段付き撮像カメラと、撮像カメラの上記光軸を中心としてその周囲の任意位置に配置され上記被検査物に対して斜め方向からコリメートされた光を照射する1以上の斜光照明手段とを備える表面検査装置を用いて被検査物の欠陥を検査する表面検査方法において、 被検査物に対し同軸落射照明を行いながら撮像カメラで被検査物の表面を撮像しその画像から欠陥の有無を判定すると共に、欠陥がある場合にX軸方向およびY軸方向の欠陥寸法を測定する工程と、 1つの斜光照明手段から上記被検査物に対しコリメートされた光を照射させながら撮像カメラで被検査物の表面を撮像しその画像から上記欠陥が凸状か凹状かを判定する工程と、 下記数式(1)または(2)に基づき凸状欠陥のZ軸方向における高さ寸法若しくは凹状欠陥のZ軸方向における深さ寸法を測定する工程、 hn=Lntanθ (1) dn=Lntanθ (2) [但し、hnは凸状欠陥のZ軸方向における高さ寸法、Lnは斜光照明により凸状欠陥若しくは凹状欠陥で形成された影のXY平面に投影された長さ、dnは凹状欠陥のZ軸方向における深さ寸法、θはコリメートされた斜光の被検査物表面に対する入射角をそれぞれ示している。] の各工程を具備することを特徴とする表面検査方法。

IPC (2)：

G01N21/956 ,  G01B11/30

FI (2)：

G01N21/956 B ,  G01B11/30 A

F-Term (27)：

2F065AA25 ,  2F065BB01 ,  2F065CC02 ,  2F065FF04 ,  2F065GG07 ,  2F065HH03 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ19 ,  2F065LL05 ,  2F065MM12 ,  2F065QQ21 ,  2F065UU01 ,  2F065UU05 ,  2F065UU07 ,  2G051AA65 ,  2G051AB01 ,  2G051AB20 ,  2G051AC01 ,  2G051BA01 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051CB05 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EC02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 特開平2-10204号公報
  
• 表面凹凸検査方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-008147   Applicant：松下電器産業株式会社