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J-GLOBAL ID：200903053307852146
光走査型顕微鏡用探針の製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
菅野 中
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995104171
Publication number (International publication number)：1996297128
Application date： Apr. 27, 1995
Publication date： Nov. 12, 1996
Summary：
【要約】【目的】 光走査型プローブ顕微鏡用探針作製を行う。【構成】 光ファイバ9のコア部2の先端2aを微細突起状に形成し、微細突起状先端2aを含めて反射膜3を形成した後、集束イオンビームを用いた局所エッチングにより、先端2a上の反射膜3を除去して微小開口4aを開口し、微小開口4aから微細突起状先端2aを露出させる。
Claim (excerpt)：
反射膜形成工程と、開口形成工程とを有し、エバネッセント光と組合せて光走査型顕微鏡に用いる探針の製造方法であって、反射膜形成工程は、クラッド部の中心に設けた光ファイバのコア部の先端及びクラッド部の周面に反射膜を形成する処理であり、開口形成工程は、物理的スパッタによるマスクレスエッチング或いは、化学的アシストエッチングにより、前記コア部先端の反射膜に微小な開口を形成し、コア部先端を反射膜の微小開口から露出させる処理であることを特徴とする光走査型顕微鏡用探針の製造方法。
Patent cited by the Patent：
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