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J-GLOBAL ID：200903053329862846
アライメント方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991248517
Publication number (International publication number)：1993062879
Application date： Sep. 03, 1991
Publication date： Mar. 12, 1993
Summary：
【要約】【目的】 順次送り込まれて処理される複数枚のウエハのうちある1枚のウエハのずれ量計測に突発的に大きな誤差がのった場合でも、回路パターンをずれて焼き付けてしまうことがないようにする。【構成】 現在処理中のウエハである現ウエハのずれ量を計測してその特徴量を求め、最近処理を終えた複数枚のウエハで計測された特徴量と前記現ウエハにおける同種の特徴量を比較し、現ウエハのずれ量計測が妥当であったかを確認してから焼き付けを実行する。
Claim (excerpt)：
現在処理中のウエハである現ウエハのずれ量を計測してその特徴量を求め、最近処理を終えた複数枚のウエハで計測された特徴量と現ウエハにおける同種の特徴量を比較し、現ウエハのずれ量計測が妥当であったかを確認してから焼き付けを実行することを特徴とするアライメント方法。
IPC (3)：
H01L 21/027
, G03F 9/00
, H01L 21/68
