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J-GLOBAL ID:200903053331199330

光学式変位検出装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鈴木 晴敏
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991228816
Publication number (International publication number):1993133772
Application date: Aug. 14, 1991
Publication date: May. 28, 1993
Summary:
【要約】【目的】 幾何光学式エンコーダの分解能を改善し併せて対向するスリットパタンとマスクパタンの間隔を拡げる事を目的とする。【構成】 周期的なスリットパタン1を有し所定の第1平面に沿って変位可能に搭載された変位部材2が用いられている。変位部材2の背部には光源4が配置されており、スリットパタン1を照明して第1平面に沿って移動する1次明暗像3を生成する。レンズ部材6を用いて1次明暗像3を所定の倍率で投映し所定の第2平面に沿って移動する拡大された2次明暗像5を結像する。受光部8が第2平面上に固定配置されており、移動する2次明暗像5に応じた周期的マスクパタンに従って受光を行ない変位部材2の変位を表わす電気信号7を出力する。
Claim (excerpt):
周期的なスリットパタンを有し所定の第1平面に沿って変位可能に搭載された変位部材と、該スリットパタンを照明し第1平面に沿って移動する1次明暗像を生成する為の光源と、該1次明暗像を所定の倍率で投映し所定の第2平面に沿って移動する拡大された2次明暗像を結像する為のレンズ部材と、第2平面上に固定配置されており移動する2次明暗像に応じた周期的マスクパタンに従って受光を行ない該変位部材の変位を表わす電気信号を出力する為の受光部とからなる光学式変位検出装置。
IPC (2):
G01D 5/36 ,  G01D 5/34

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