硬質ウエハ-の研磨方法及び研磨装置

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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：川瀬茂樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994133773
Publication number (International publication number)：1995314302
Application date： May. 23, 1994
Publication date： Dec. 05, 1995
Summary：

【要約】【目的】基体の上にダイヤモンド、c-BNなどの硬質被膜を形成した硬質ウエハ-は反りがあるし、基体が弱いので、従来の方法では十分に研磨することができない。未研磨部を残さず、割れ欠けを引き起こすことなく均一に表面を研磨できるようにした研磨方法を提供する。【構成】硬質ウエハ-を凸反りになるようにホルダ-に固定する。ホルダ-は面がシャフト軸線に対して傾けることができるようにしてある。ホルダ-の僅かな傾きにより、凸反りに固定されるウエハ-の前面を研磨することができる。軸線に対してホルダ-が傾くために補助シャフトでホルダ-の一ヶ所を押さえる。主シャフトと補助シャフトの圧力の配分によりウエハ-と研磨板の接触箇所が変わるから、ウエハ-の前面を研磨することができる。研磨後の面粗さは、Rmax500Å(50nm)以下、Ra200Å(20nm)以下である。

Claim (excerpt)：

ビッカ-ス硬度3000以上の硬質物質を基体片側の表面に被覆した硬質膜被覆ウエハ-の被膜を研磨するため、シャフトにより傾斜可能に支持される円板状のホルダ-の中央にウエハ-を固定し、固定砥粒を有する研磨板にホルダ-のウエハ-を当て、ホルダ-がシャフトに対して傾斜できるようにシャフトを介してホルダ-の中心に集中荷重を加え、研磨板を軸まわりに公転させ、ホルダ-面の研磨板平面に対する傾斜角Φを変化させる揺動運動をすることにより、ウエハ-と研磨板の研磨面の接触部分を変化させウエハ-の全面を研磨するようにしたことを特徴とする硬質ウエハ-の研磨方法。

IPC (4)：

B24B 7/22 , B24B 1/00 , B24B 41/06 , H01L 21/304 321

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

特開平1-257528
特開平2-262905
特開平2-250704

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