Pat
J-GLOBAL ID：200903053398626348
光記録媒体
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992117591
Publication number (International publication number)：1993314544
Application date： May. 11, 1992
Publication date： Nov. 26, 1993
Summary：
【要約】【目的】 従来より細いグルーブおよび小さいピットを形成することが可能になり、高密度化した光記録媒体に用いる基板を作成できるので、光記録媒体の高密度化が可能とする。【効果】 光記録媒体に用いるスタンパのトラック溝の幅を従来のものより細く、ピットを従来のものより小さくできるので、光記録媒体の記録密度を増加させる短波長記録のための記録膜を用いた系に必要な基板を提供することができるようになり、それによって光記録媒体の記録密度を増加させることが可能になるという効果と、従来の光学系を用いて、従来より細い溝や小さいピットを形成できるという効果がある。
Claim (excerpt)：
原盤9の上にポジ型のレジスト層10を塗布し、該レジスト層10の上に有機シリカ層11を形成し、該有機シリカ層11の上にさらにポジ型のレジスト層12を塗布し、レーザー光を集光して前記原盤9を回転させながら前記レジスト層12の特定領域を露光し、前記レジスト層12の露光部分を現像した後、前記レジスト層12の現像部分に開いた前記有機シリカ層11をエッチングし、現像されなかった前記レジスト層12および前記有機シリカ層11の前記エッチング部分に開いた前記レジスト層10をエッチングし、1回目のエッチングでエッチングされなかった前記有機シリカ層11をエッチングし、金属膜19を成膜し、さらに金属膜20を成膜し、該金属膜19および金属膜20を電極にして該金属膜20と同種または異種の金属層21を電鋳し、前記原盤9から剥離し、前記金属膜19を除去することによって作成さたスタンパを用いることを特徴とする光記録媒体。
IPC (3)：
G11B 7/26 511
, B29C 33/38
, B29L 17:00
