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J-GLOBAL ID:200903053405438684
トンネルトランジスタ
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
岩佐 義幸
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991341593
Publication number (International publication number):1993175514
Application date: Dec. 25, 1991
Publication date: Jul. 13, 1993
Summary:
【要約】【目的】 低消費電力,高速動作,高集積化が可能なトンネル現象利用のトランジスタを提供する。【構成】 第4の半導体にn型のイオン化不純物が添加してあるため、ゲート電圧を印加しないときでも伝導帯エネルギーの低い第2の半導体表面に電子が蓄積されており、ソース・ドレイン間は等価的な薄いp+ -n+ トンネルダイオード構造が形成されている。このため、電子蓄積のための大きな正のゲート電圧を必要とせず、ゲートリーク電流が抑制できる。
Claim (excerpt):
基板上に一導電型を有する縮退した第1の半導体と、縮退していない第2の半導体と、前記第1の半導体と反対の導電型を有し縮退した第3の半導体とを連結した構造を有し、少なくとも前記第1の半導体と第2の半導体の露出表面に前記第2の半導体よりも禁止帯幅が広く、イオン化不純物を含有する第4の半導体と、この第4の半導体上の電極を有し、前記第1の半導体と第3の半導体にそれぞれオーミック電極を設けたことを特徴とするトンネルトランジスタ。
IPC (5):
H01L 29/804
, H01L 21/337
, H01L 29/808
, H01L 21/338
, H01L 29/812
FI (3):
H01L 29/80 A
, H01L 29/80 C
, H01L 29/80 H
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