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J-GLOBAL ID:200903053413955868

表示装置の作製方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001005860
Publication number (International publication number):2001272923
Application date: Jan. 15, 2001
Publication date: Oct. 05, 2001
Summary:
【要約】【課題】 プラスチック支持体を用いて高性能な表示装置を作製するための技術を提供する。【解決手段】 素子形成基板上に剥離層を形成し、さらにその上に半導体素子及び発光素子を形成した後、発光素子の上に第1接着剤129により固定基板130を貼り合わせる。この状態でフッ化ハロゲンを含むガス中に晒すことにより剥離層が除去され素子形成基板が剥離される。その後、剥離された素子形成基板の代わりにプラスチック支持体からなる貼り合わせ基板132を貼り合わせる。
Claim (excerpt):
素子形成基板の上に剥離層を形成し、該剥離層の上に絶縁膜を形成し、該絶縁膜の上に発光素子を形成し、該発光素子の上に第1接着剤を用いて固定基板を貼り合わせ、該固定基板を貼り合わせた後にフッ化ハロゲンを含むガスに晒すことにより前記剥離層を除去し、前記絶縁膜と貼り合わせ基板とを第2接着剤を用いて貼り合わせることを特徴とする表示装置の作製方法。
IPC (7):
G09F 9/00 338 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  H05B 33/14
FI (7):
G09F 9/00 338 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  G09F 9/30 338 ,  H05B 33/14 A ,  H01L 29/78 626 C ,  H01L 29/78 627 D
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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