Pat
J-GLOBAL ID：200903053421938271

基板搬送システム及び基板処理装置

Inventor：
勝俣 好弘

About 勝俣 好弘

, 
小口 俊明

About 小口 俊明


Applicant, Patent owner：
アネルバ株式会社

About アネルバ株式会社


Agent (1)： 保立 浩一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001261890
Publication number (International publication number)：2003068829
Application date： Aug. 30, 2001
Publication date： Mar. 07, 2003
Summary：
【要約】【課題】 複数の基板について一括して位置検出を行える実用的な構成を提供し、生産性の向上などの顕著な改善をもたらす。【解決手段】 基板搬送システムは、各々基板9を保持する二つのフォーク1,2を備えた搬送ロボット10により二つの基板9を同時に搬送する。制御部81は、搬送ロボット10の駆動系を制御してフォーク1,2を監視位置に位置させ、この際に基板9が占めると想定される空間の画像が撮像素子82により撮像される。撮像素子82からの画像は、画像処理部83により処理され、その処理結果から、各基板9がフォーク1,2に保持されているいるか及びフォーク1,2上の所定位置に位置しているかが判断部84により判断される。基板搬送システムを備えた基板処理装置は、搬送ロボット10が内部に設けられた搬送チャンバー86内に監視位置を設定しており、搬送チャンバー86のモニタ窓862を通して撮像素子82が撮像を行う。
Claim (excerpt)：
二以上の基板を保持する基板保持具と、基板保持具を駆動する駆動系とを備え、二以上の基板を同時に保持しながら所定の位置に搬送することが可能な基板搬送システムであって、駆動系を制御して基板保持具を所定の監視位置に位置させる制御部と、基板保持具が監視位置に位置した際に、基板保持具に保持された前記二以上の基板が占めると想定される空間の画像を撮像する撮像素子と、撮像素子からの画像を処理する画像処理部と、画像処理部の処理結果から、前記二以上の基板のそれぞれについて所定の位置に位置しているか又は前記基板保持具に保持されているかどうかを判断する判断部とより成ることを特徴とする基板搬送システム。
FI (2)：
H01L 21/68 F ,  H01L 21/68 A
F-Term (32)：
5F031CA01 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA09 ,  5F031FA15 ,  5F031GA02 ,  5F031GA03 ,  5F031GA12 ,  5F031GA44 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031JA01 ,  5F031JA04 ,  5F031JA14 ,  5F031JA22 ,  5F031JA28 ,  5F031JA29 ,  5F031JA32 ,  5F031JA34 ,  5F031JA51 ,  5F031LA09 ,  5F031LA12 ,  5F031LA13 ,  5F031LA14 ,  5F031MA04 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031NA05 ,  5F031NA07 ,  5F031PA02
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM