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J-GLOBAL ID：200903053424275524
X線発生器および蛍光X線分析装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
西教 圭一郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993010254
Publication number (International publication number)：1994223750
Application date： Jan. 25, 1993
Publication date： Aug. 12, 1994
Summary：
【要約】【目的】 タングステンから成る対陰極を備えたX線発生源では検出が困難であった微量元素について、その検出限界を向上させることができるX線発生器およびこれを用いた蛍光X線分析装置を提供する。【構成】 蛍光X線分析装置1は、金属基体の表面にGeから成るX線発生層が形成された回転対陰極11とを備えるX線発生器10と、X線発生器10から発生するGeの特性X線3から単一の特性X線4を分離するための分光結晶13およびコリメータ14,15と、特性X線4が被検物2に入射して、被検物2から発生する蛍光X線5を検出するX線検出器20と、前置増幅器21、比例増幅器22、波高分析器23およびデータ処理器24などから構成されている。
Claim (excerpt)：
金属製基体の表面にGeから成るX線発生層が形成された対陰極を備えることを特徴とするX線発生器。
IPC (3)：
H01J 35/10
, G01N 23/223
, G21K 1/00
Cited by examiner (5)
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