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J-GLOBAL ID:200903053426811792
複合超微粒子の製造方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
大野 精市
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993084236
Publication number (International publication number):1994292826
Application date: Apr. 12, 1993
Publication date: Oct. 21, 1994
Summary:
【要約】【目的】 超微粒子の複合材料化を選択の自由度を飛躍的に増大させ、さらに安定した形で利用することができる、複合超微粒子の製造方法を提供する。【構成】 気相中で超微粒子を形成し、形成した超微粒子を基板に付着させ、その後該超微粒子とは異なる物質の材料を該超微粒子上に蒸着させる。
Claim (excerpt):
【請求項】 気相中で超微粒子を形成し、形成した超微粒子を基板に付着させ、その後該超微粒子とは異なる物質の材料を該超微粒子上に蒸着させることを特徴とする複合超微粒子の製造方法。
IPC (3):
B01J 19/00
, C23C 14/24
, B01J 19/08
Patent cited by the Patent: