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J-GLOBAL ID:200903053450647782
露光装置及び方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
丸島 儀一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994324383
Publication number (International publication number):1996181057
Application date: Dec. 27, 1994
Publication date: Jul. 12, 1996
Summary:
【要約】【目的】 ウエハチャックに確率的に発生し得る異物の付着に起因した装置の稼動停止時間をできるかぎり短縮する。【構成】 レチクル2のパターンが露光転写されるウエハ4を所定平面に沿って移動するステージ6と、ステージ上でウエハを吸着保持するウエハチャック5を収納する収納部8と、ステージ上のウエハチャックを収納部に収納されている新しいウエハチャックに交換するために収納部からウエハチャックをステージ上に搬送するチャック搬送ロボット7と、ステージ上のウエハチャックにウエハを搬送するウエハ搬送ロボット14,17を有する。
Claim (excerpt):
原板のパターンが露光転写される基板を所定平面に沿って移動するステージと、前記ステージ上で基板を吸着保持する基板チャックを収納する収納手段と、前記ステージ上の基板チャックを前記収納手段に収納されている基板チャックに交換するために前記収納手段から前記基板チャックを前記ステージ上に搬送するチャック搬送手段と、前記ステージ上の基板チャックに基板を搬送する基板搬送手段を有することを特徴とする露光装置。
IPC (5):
H01L 21/027
, B25J 15/04
, B25J 18/00
, G03F 7/20 521
, H01L 21/68
FI (3):
H01L 21/30 514 D
, H01L 21/30 503 C
, H01L 21/30 503 G
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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特開平4-171805
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特開平2-271514
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特開平1-184821
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特開昭57-058319
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X線露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-248834
Applicant:松下電器産業株式会社
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