電子顕微鏡

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：高田幸彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998155901
Publication number (International publication number)：1999354060
Application date： Jun. 04, 1998
Publication date： Dec. 24, 1999
Summary：

【要約】【課題】電子顕微鏡において、未確認視野と確認した視野の区別を簡単にかつ正確に行えることを可能とする。【解決手段】各倍率毎の電子顕微鏡像(試料形状)を、撮像装置4にて画像データとして取込む。更に、これら全ての画像データを関連付け、この時の撮像条件(試料台の座標位置、倍率)を含めて、自動的にCRTモニタ5に表示し、記憶装置6に記録する。

Claim (excerpt)：

試料の電子顕微鏡像を画像データとして取込む撮像装置と、前記画像データを表示する表示装置を有する電子顕微鏡において、基準となる前記試料の電子顕微鏡像を基準画像データとして前記表示装置に表示し、前記試料の任意の位置を任意の倍率で拡大した時に得られる拡大画像データを、前記基準画像データに対応させて階層的に記録する観察データ管理手段を具備していることを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (2)：

H01J 37/22 501 , H01J 37/22 502

FI (2)：

H01J 37/22 501 A , H01J 37/22 502 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

観察位置表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-059081 Applicant：住友金属工業株式会社
特開平1-209647
特開昭59-221956

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