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J-GLOBAL ID：200903053478709236

減圧処理装置

Inventor： 斉木 和良
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン山梨株式会社
Agent (1)： 井上 一 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993054782
Publication number (International publication number)：1994021196
Application date： Feb. 18, 1993
Publication date： Jan. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 2つの連続処理、又はそのいずれか一方の処理を選択的に実施でき、省スペース化を図った減圧処理装置を提供すること。【構成】 矩形エリアの2つのコーナー部に、第1の処理室40,第2の処理室42が配置される。第1,第2の処理室40,42には、第1,第3の開閉装置50,54を介して、第1,第2のロードロック室44,46が連結される。各ロードロック室44,46には、大気との間に第2,第4の開閉装置52,56が連結される。処理室40,42の間には、各処理室40,42との間に第5,第6の開閉装置60,62を介して第3のロードロック室48が配置される。第3のロードロック室48は、大気との間に第7の開閉装置54を有する。各部屋40〜48の平面的配置として、コ字形の形状を呈している。このコ字形の中心領域、すなわち、第2,第4及び第7の開閉装置に囲まれた大気空間には、被処理体を一時的に載置する載置台が配置される。

Claim (excerpt)：

減圧下で被処理体に対して第1の処理を行う第1の処理室と、減圧下で被処理体に対して第2の処理を行う第2の処理室と、前記第1の処理室に第1の開閉装置を介して連結され、かつ、大気との間に第2の開閉装置を有する第1のロードロック室と、前記第2の処理室に第3の開閉装置を介して連結され、かつ、大気との間に第4の開閉装置を有する第2のロードロック室と、前記第1,第2の処理室の間に配置され、前記第1,第2の処理室にそれぞれ第5,第6の開閉装置を介して連結され、かつ、大気との間に第7の開閉装置を有する第3のロードロック室と、を有することを特徴とする減圧処理装置。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/302