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J-GLOBAL ID：200903053498690523

クリーンルーム用ファンフィルター駆動装置

Inventor： 伊藤 誠
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999106549
Publication number (International publication number)：2000297954
Application date： Apr. 14, 1999
Publication date： Oct. 24, 2000
Summary：

【要約】【課題】クリーンルーム内のクリーンエアの流れが上から下方向に真っ直ぐに向かうようにし、さらにインバータユニットから発生するスイッチング周波数によるサージ電圧や漏れ電流をなくすること。【解決手段】クリーンルーム1の天井に複数取り付けられて、クリーンルーム1内のクリーンエアの流れを制御するファンフィルターユニット3の駆動装置において、各々のファンフィルターユニット3を駆動するモータ4に、当該モータ4の速度を可変可能なインバータユニット5をそれぞれ搭載して、各々のファンフィルターユニット3毎に独立して運転する。

Claim (excerpt)：

クリーンルームの天井に複数取り付けられて、前記クリーンルーム内のクリーンエアの流れを制御するファンフィルターユニットの駆動装置において、前記各々のファンフィルターユニットを駆動するモータに、当該モータの速度を可変可能なインバータユニットをそれぞれ搭載して、前記各々のファンフィルターユニット毎に独立して運転するようにしたことを特徴とするクリーンルーム用ファンフィルター駆動装置。

IPC (2)：

F24F 7/06 ,  F24F 7/007

FI (2)：

F24F 7/06 C ,  F24F 7/007 B

F-Term (7)：

3L056BA01 ,  3L056BD04 ,  3L056BD07 ,  3L056BE01 ,  3L056BF04 ,  3L058BF01 ,  3L058BF09