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J-GLOBAL ID:200903053522501460

制約付き多次元形状の形状パラメータ測定方法 および装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993224293
Publication number (International publication number):1995077420
Application date: Sep. 09, 1993
Publication date: Mar. 20, 1995
Summary:
【要約】【目的】 関連形体の幾何公差に対する形状パラメータを安定的かつ短時間に求めること。【構成】 多次元形状の実測定形状データに対応する理論形状を与える第1段階、所定の制約条件を満足しながら理論形状と形状データの間の誤差が小さくなるように、理論形状の並進または回転移動量を算出する第2段階、第2段階の算出量をもって理論形状を並進又は回転させる第3段階、並進移動量と予めした設定値又は回転量と予めした設定値を比較する第4段階、第4段階において比較された結果により、再度第2〜4段階を繰り返す第5段階、第5段階と同様に第4段階において比較された結果により、その時の形状パラメータを求める第6段階とからなる多次元形状のパラメータ測定方法。
Claim (excerpt):
多次元形状を実測して得られた形状データに対し、その数学的な理論形状の位置合わせを行うことにより前記多次元形状の形状パラメータを求める測定方法であって、その方法が、前記形状データに対応する前記理論形状を与える第1段階と、前記理論形状と前記形状データの間の誤差が小さくなるように、前記理論形状の少なくとも並進移動量もしくは回転移動量を算出する第2段階と、算出された前記並進移動量もしくは回転移動量をもって前記理論形状を並進もしくは回転せしめる第3段階と、前記並進移動量とあらかじめ設定した並進移動量の設定値、もしくは前記回転移動量とあらかじめ設定した回転移動量の設定値を比較判断する第4段階と、前記第4段階において比較判断された結果により、再度、前記第2,第3,第4段階を繰り返す第5段階と、前記第5段階と同様に前記第4段階において比較判断された結果により、その時の形状パラメータ求める第6段階とからなる測定方法において、前記第2段階の並進移動量もしくは回転移動量を算出する際に、それら算出量に対して所要の制約条件を付加する段階を有することを特徴とする多次元形状の形状パラメータ測定方法。
IPC (2):
G01B 21/20 101 ,  G01B 21/00

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