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J-GLOBAL ID：200903053539404735

加速度センサ

Inventor： 細谷 克己 ,  岡本 圭介 ,  川畑 達央
Applicant, Patent owner： オムロン株式会社
Agent (1)： 中野 雅房
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994124300
Publication number (International publication number)：1995306223
Application date： May. 13, 1994
Publication date： Nov. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】 温度変化に強く直線性に優れ、他軸方向の加速度の影響の少ない加速度センサを提供する。【構成】 弾性を有するビーム2によってマス部3をフレーム4に片持ち状に揺動自在に支持させる。このとき、マス部3の重心Gがマス部3の厚さ方向においてビーム軸上に位置させるとともに、ビーム軸方向においてビーム2の固定部8とマス支持部9との間(特にその中央が望ましい)に位置させる。【効果】 加えられた加速度によって、マス部3が基板6と平行移動するので、可動電極5と固定電極7との間の静電容量は加速度に正比例して変化し、直線性が向上する。また、ビーム軸方向の加速度によってはマス部3は変位せず、他軸方向の加速度の影響も少ない。さらに、マス部3はビーム2によって片持ち状に支持されているのでビーム2の熱膨張などによる温度変化の影響も少ない。

Claim (excerpt)：

弾性を有するビームによってマス部を支持基板に片持ち状に支持させた加速度センサにおいて、前記マス部の重心が前記ビームの軸方向に関して当該ビームの基板固定部から最遠の自由端より前記基板固定部側に位置するとともに、当該重心が当該マス部の厚さ方向に関して前記ビーム軸上に位置することを特徴とする加速度センサ。

IPC (2)：

G01P 15/125 ,  G01P 21/00