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J-GLOBAL ID：200903053540328090

走査型電子顕微鏡用観察試料のマーキング方法

Inventor： 下村 奈良和
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 岡田 和秀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992164287
Publication number (International publication number)：1993334981
Application date： May. 29, 1992
Publication date： Dec. 17, 1993
Summary：

【要約】【目的】 走査型電子顕微鏡用の観察試料に目印を施して該観察試料の所定箇所を容易に繰り返し観察できるようにすることを目的とする。【構成】 走査型電子顕微鏡装置Aの鏡筒内の試料6の所定箇所にW(CO)6その他の気体を流入、吸着させて電子ビームを照射してW(タングステン)を堆積させることにより、W(タングステン)を目印7にすることを特徴とするマーキング方法で、該目印を付けたことによって、観察試料の所定箇所を探すのが容易になり繰り返し観察が迅速にできるようになるものである。

Claim (excerpt)：

走査型電子顕微鏡筒内へW(CO)6、WF6などの気体を流入して観察試料上に吸着した該気体に電子ビームを照射することによってW(タングステン)の化合物を分解させてWのみの堆積を形成して目印を付すことを特徴とする走査型電子顕微鏡用観察試料のマーキング方法。

IPC (4)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/22 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/30