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J-GLOBAL ID：200903053547214856

試料情報取得方法及びテラヘルツ光装置

Inventor： 岩本 敏志
Applicant, Patent owner： 株式会社栃木ニコン ,  株式会社ニコン
Agent (1)： 四宮 通
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001312866
Publication number (International publication number)：2003121355
Application date： Oct. 10, 2001
Publication date： Apr. 23, 2003
Summary：

【要約】【課題】 測定の手数を低減し、処理を簡単にし、しかも、最終的に得られる試料の情報の精度を向上させる。【解決手段】 テラヘルツ光発生器から発生したテラヘルツ光L4を試料100aの下面の所定領域に導き、前記所定領域で反射されたテラヘルツ光L5をテラヘルツ光検出器により検出し、前記テラヘルツ光検出部からの検出結果に基づいて試料100aの情報を取得する。試料100aの下面が水平面となるように、上面が水平面とされた試料ホルダ40上に、試料100aを載置する。試料ホルダ40は、テラヘルツ光L4,L5を透過させる開口を有する。テラヘルツ光発生器から発生したテラヘルツ光L5を試料100aの下面の前記所定領域に下側から入射させ、前記所定領域で反射されたテラヘルツ光L5をテラヘルツ光検出器に導く。

Claim (excerpt)：

テラヘルツ光発生部から発生したテラヘルツ光を試料の所定面の所定領域に導き、前記所定領域で反射されたテラヘルツ光をテラヘルツ光検出部により検出し、前記テラヘルツ光検出部からの検出結果に基づいて前記試料の情報を取得する試料情報取得方法において、前記所定面が下側に向いた状態で前記試料を保持し、前記テラヘルツ光発生部から発生したテラヘルツ光を前記所定面の前記所定領域に下側から入射させ、前記所定領域で反射されたテラヘルツ光を前記テラヘルツ光検出部に導くことを特徴とする試料情報取得方法。

IPC (4)：

G01N 21/35 ,  G01N 21/01 ,  G01N 21/41 ,  H01S 3/00

FI (4)：

G01N 21/35 Z ,  G01N 21/01 B ,  G01N 21/41 Z ,  H01S 3/00 A

F-Term (22)：

2G059AA02 ,  2G059BB16 ,  2G059DD13 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059GG01 ,  2G059GG06 ,  2G059GG08 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ24 ,  2G059KK01 ,  2G059LL01 ,  2G059MM01 ,  2G059MM08 ,  2G059MM10 ,  2G059PP04 ,  5F072RR10 ,  5F072SS08 ,  5F072YY20