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J-GLOBAL ID：200903053604456080

光電陰極、光電管および光検出装置

Inventor： 新垣 実 ,  木下 勝之 ,  廣畑 徹 ,  渭原 常夫 ,  山田 正美 ,  朝倉 憲夫 ,  根木 康晴 ,  鈴木 智子
Applicant, Patent owner： 浜松ホトニクス株式会社
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994120061
Publication number (International publication number)：1995050149
Application date： Jun. 01, 1994
Publication date： Feb. 21, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 位置分解能を有する高感度の光電陰極、光電管および光検出装置を提供する。【構成】 光電陰極1の表面電極105は分割されて複数の画素電極1051〜105nをなし、バイアスが印加された画素についてのみ、内部で生成された光電子を外部に放出させ得る。このため、画素電極を一次元のアレイ状に配列したときには一次元の位置分割能を、二次元のマトリクスに配列したときは二次元の位置分割能を実現できる。光電管は真空容器21に上記の光電陰極を有し、複数の画素電極のバイアス切換制御手段を設け、一次元又は二次元の位置分解能をもつ。光検出器は上記の光電管、電源、タイミング制御手段、メモリ手段を備え、光電子放出可能状態の画素電極の位置情報に対応させて、メモリ手段が陽極の出力を記憶する。

Claim (excerpt)：

入射光子によって内部に光電子を励起させる光電変換層を含み、この光電変換層の内部で生成されて加速された前記光電子を光電子放出面から外部に放出させる半導体層と、前記光電子放出面の前記半導体層上に形成された表面電極と、前記光電子放出面の反対面の前記半導体層上に前記表面電極と対向して形成された裏面電極とを備え、前記表面電極は分割されて複数の画素電極を成すと共に相互に電気的に絶縁され、前記複数の画素電極は前記裏面電極に比べて正のバイアス電位を独立に印加する複数のバイアス印加用配線にそれぞれ接続されていることを特徴とする光電陰極。

IPC (3)：

H01J 40/06 ,  H01J 1/34 ,  H01J 43/08