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J-GLOBAL ID：200903053614086094

液晶配向膜検査方法および検査装置

Inventor： 廣沢 一郎
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 加藤 朝道
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995266361
Publication number (International publication number)：1997090368
Application date： Sep. 20, 1995
Publication date： Apr. 04, 1997
Summary：

【要約】【課題】液晶表示素子に用いられる液晶高分子配向膜の反射光の偏光状態を測定することによって膜質を高速に評価することを可能とする装置及び方法の提供。【解決手段】液晶分子を均一に配向させるために用いる高分子薄膜の分子配向の状態を試料からの反射光の偏光状態を測定することによって評価する。分子が配向している膜では屈折率や複屈折率といった光学特性に異方性があり、配向性が高くなるのに従い異方性が増すので、反射光の偏光状態の異方性を測定することにより、分子配向の評価を行う。異方性の測定を高速で行うために試料面上で互いに交差する光を入射し、それぞれの反射光の偏光状態の測定を行い、試料面上の光の走査により膜の均一性の走査を行う。走査の際、好ましくは、ハーフミラーで2分した反射光が振動方向がそれぞれ互いに直交する検光子を通過する強度比の測定を行う。

Claim (excerpt)：

有機薄膜からなる配向膜を評価する方法であって、前記配向膜表面を、互いに交差する2つの単色の光線を入射角を一定にして走査し、その際に生じる前記配向膜表面からのそれぞれの反射光をビームスプリット手段で2分し、2分された反射光が、互いに振動方向が直交する検光子を通過する光強度の強度比を測定し、前記有機薄膜の分子配向状態と面内均一性とを測定することを特徴とする配向膜の評価方法。

IPC (4)：

G02F 1/1337 525 ,  G01M 11/00 ,  G01N 21/21 ,  G02F 1/13 101

FI (4)：

G02F 1/1337 525 ,  G01M 11/00 T ,  G01N 21/21 Z ,  G02F 1/13 101