マイクロメカニック・ポンプ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：三澤正義
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000618617
Publication number (International publication number)：2002544438
Application date： May. 05, 2000
Publication date： Dec. 24, 2002
Summary：

【要約】規定の液体量を搬送および/または管理するための蠕動アクチュエータを有するマイクロメカニック・ポンプを提案する。基板表面内の任意の断面を有する、好適には環状の切り欠き部が薄膜(2)によって覆われる。常圧の下で基板(1)と薄膜との接合プロセスが実施されると、所定の空気容積(17)は窪み内に封入される。従ってポンプ・アクチュエータは可動薄膜と固定床部との間の任意の形状の閉鎖空洞によって形成される。薄膜は導電体で被覆される。空洞の床には互いに絶縁された複数の電極(3、4)が埋設され、これらは少なくとも一部が互いに独立して制御可能である。薄膜と1つまたは複数の電極との間に電圧が印加されると、前記薄膜はその位置で下方に引っ張られる(6)。薄膜の下側の容積は密封されているので、排出される空気によって別の位置の薄膜が上方に隆起する。電極が適宜に制御されると、隆起は窪みに沿って蠕動することができる。カバー(9)を薄膜に接合することによって、ポンプが形成される。搬送される液体(12)は薄膜とカバーとの間に位置する。選択された電極と薄膜との間に電圧が印加されると、薄膜はこの領域で窪みの床へと引き下げられる。薄膜は隆起した領域を固定カバー(5)に対して密封を行う。これに対し、制御される領域では薄膜とカバーとの間にスリットが生ずる。これによって、薄膜とカバーとの間にある液体は限定的に移動することが可能である。

Claim (excerpt)：

-表面に窪み(8)を有する基板(1)と、 -前記基板の前記表面上で、前記窪み(8)を覆う導電性の、および/または導電体で被覆された薄膜(2)と、 -前記薄膜で覆われた前記基板を覆うカバー(9)と、 -互いに絶縁され、少なくとも部分的に別個に制御することが可能(ansteuerbar)であり、前記窪みの床面、または前記カバーの下面の電極(3、4)と、を有するマイクロメカニック・ポンプであって、前記窪みは線状で、かつ終端なく連続しており、かつ前記薄膜は制御されない前記電極(4)の領域で前記カバーの面に対して密封を行い(5)、これに対して前記カバーと薄膜との間の前記制御される前記電極(3)の領域には、前記薄膜が前記電極の方向を指すように(6)スリットを設け、かつ前記カバーと前記薄膜との間の前記スリット、または前記基板と前記薄膜との間の空隙が閉鎖空洞を形成し、かつ駆動媒体(17)が充填されることを特徴とするマイクロメカニック・ポンプ。

IPC (7)：

F04B 43/04 , A61M 1/00 500 , B81B 3/00 , B81C 3/00 , F04B 9/00 , F04B 43/12 , F04B 43/14

FI (7)：

F04B 43/04 B , A61M 1/00 500 , B81B 3/00 , B81C 3/00 , F04B 9/00 B , F04B 43/12 C , F04B 43/14

F-Term (35)：

3H075AA01 , 3H075BB04 , 3H075CC11 , 3H075CC36 , 3H075DA00 , 3H075DA05 , 3H075DA11 , 3H075DB02 , 3H075DB42 , 3H075DB49 , 3H075DB50 , 3H077AA01 , 3H077CC01 , 3H077CC06 , 3H077DD06 , 3H077DD14 , 3H077EE01 , 3H077EE05 , 3H077EE15 , 3H077FF01 , 3H077FF06 , 3H077FF12 , 3H077FF14 , 3H077FF21 , 3H077FF31 , 3H077FF36 , 3H077FF43 , 3H077FF45 , 3H077FF60 , 4C077DD10 , 4C077JJ08 , 4C077JJ19 , 4C077KK27 , 4C077KK30 , 4C077PP24

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

マイクロポンプ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-095757 Applicant：富士電機株式会社
特開昭60-013994
特開平3-081585

Show all

Return to Previous Page