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J-GLOBAL ID：200903053620858813

圧電単結晶からなる振動子の製造方法

Inventor： 吉野 隆史 ,  今枝 美能留 ,  加藤 賢治 ,  相馬 隆雄
Applicant, Patent owner： 日本碍子株式会社
Agent (1)： 杉村 暁秀 (外9名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996323935
Publication number (International publication number)：1998163780
Application date： Dec. 04, 1996
Publication date： Jun. 19, 1998
Summary：

【要約】【課題】圧電単結晶の母材から振動子を形成するのに際して、振動子の外形の加工精度を向上させうるような新たな加工方法を提供することである。【解決手段】圧電単結晶からなる振動子の製造方法であって、圧電単結晶からなる母材に対してレーザー光を照射し、光化学的な反応によって前記母材の分子を解離および蒸発させ、母材を振動子の形態に合わせて除去加工することによって、振動子を形成する。好ましくは、振動子が回転角速度センサ用の振動子であり、振動子の駆動振動と検出振動とが所定平面内で行われるものであり、圧電単結晶が、水晶、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム-タンタル酸リチウム固溶体およびランガサイトからなる群より選ばれる。

Claim (excerpt)：

圧電単結晶からなる振動子の製造方法であって、前記圧電単結晶からなる母材に対してレーザー光を照射し、光化学的な反応によって前記母材の分子を解離および蒸発させ、前記母材を前記振動子の形態に合わせて除去加工することによって、前記振動子を形成することを特徴とする、圧電単結晶からなる振動子の製造方法。

IPC (7)：

H03H 3/02 ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/24 ,  H03H 9/19

FI (7)：

H03H 3/02 B ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H03H 9/19 A ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/18 101 A ,  H01L 41/22 A