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J-GLOBAL ID：200903053621032552
ダイヤモンド被覆体およびその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
豊田 武久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993078848
Publication number (International publication number)：1994264264
Application date： Mar. 12, 1993
Publication date： Sep. 20, 1994
Summary：
【要約】【目的】 多結晶ダイヤモンド膜で被覆されたダイヤモンド被覆体として、ダイヤモンド膜の結晶粒が微細で、表面平滑性、緻密性、密着性の優れたものを提供する。【構成】 少なくとも表面部分が立方晶窒化ホウ素の多結晶膜からなる中間層が基材上に形成され、その中間層の表面に接するように多結晶ダイヤモンド膜が形成されてなるダイヤモンド被覆体。またイオンビーム促進蒸着法等によって立方晶窒化ホウ素の多結晶膜を生成した後、その表面に気相合成法によって多結晶ダイヤモンド膜を生成させる方法。
Claim (excerpt)：
少なくとも表面部分が立方晶窒化ホウ素の多結晶膜からなる中間層が基材上に形成され、その中間層の表面に接するように多結晶ダイヤモンド膜が形成されていることを特徴とするダイヤモンド被覆体。
Patent cited by the Patent：
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