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J-GLOBAL ID：200903053625263877

異物検査装置

Inventor： 田代 英之 ,  萩原 恒幸
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 山口 孝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993177391
Publication number (International publication number)：1995012745
Application date： Jun. 24, 1993
Publication date： Jan. 17, 1995
Summary：

【要約】【目的】 斜め照射光ビームに対して被検査面の高さ位置が相対的的に位置ずれしても、相対位置ずれに伴う検出感度の変動を補正することのできる、異物検査装置を提供することを目的とする。【構成】 本発明は、被検査面に斜めから光ビームを照射して前記被検査面に帯状の照射部を形成するための照射手段と、前記被検査物の表面に付着した異物からの散乱光を受光するための光電検出手段とを備えた異物検査装置であって、前記照射光ビームに対する被検査面の高さ方向の相対的位置ずれを検出するための位置検出手段と、該位置検出手段が検出した高さ方向の相対的位置ずれ情報に基づき相対的位置ずれに伴う検出感度の変動を補正するための検出感度補正手段とを備えていることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

被検査面に斜めから光ビームを照射して前記被検査面に帯状の照射部を形成するための照射手段と、前記被検査物の表面に付着した異物からの散乱光を受光するための光電検出手段とを備えた異物検査装置であって、前記照射光ビームに対する被検査面の高さ方向の相対的位置ずれを検出するための位置検出手段と、該位置検出手段が検出した高さ方向の相対的位置ずれ情報に基づき相対的位置ずれに伴う検出感度の変動を補正するための検出感度補正手段とを備えていることを特徴とする装置。