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J-GLOBAL ID：200903053630566829

半導体装置の測定回路

Inventor： 太田 順道 ,  石川 修 ,  東 千夏
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991169863
Publication number (International publication number)：1993021553
Application date： Jul. 10, 1991
Publication date： Jan. 29, 1993
Summary：

【要約】【目的】 単体トランジスタの電気特性測定時の発振を防止する測定回路を提供する。【構成】 トランジスタの入力端子に接続された定インピーダンスの分布定数線路14と、上記分布定数線路14の任意の位置から伸張されたリアクタンス成分を有する測定用端子34と、上記分布定数線路の上記入力端子の反対側に接続された、キャパシタンス44と上記分布定数線路の定インピーダンスと等価な抵抗64との直列回路とを備えたものである。【効果】 トランジスタの異常発振は、キャパシタンスと上記分布定数線路の定インピーダンスと等価な抵抗との直列回路によって吸収することができ、またその発振周波数も上記定インピーダンスが保証される周波数まで吸収することができるため、完全に抑制される。

Claim (excerpt)：

トランジスタ入力端子に接続された定インピーダンスの分布定数線路と、上記分布定数線路の任意の位置から伸張されたリアクタンス成分を有する測定用端子と、上記分布定数線路の上記入力端子の反対側に接続された、キャパシタンスと上記分布定数線路の定インピーダンスと等価な抵抗との直列回路とを備えたことを特徴とする半導体装置の測定回路。

IPC (2)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/26