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J-GLOBAL ID：200903053641128777

反射光学部材の保持装置及び露光装置

Inventor： 池田 正俊
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 井上 義雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997076709
Publication number (International publication number)：1998253872
Application date： Mar. 13, 1997
Publication date： Sep. 25, 1998
Summary：

【要約】【課題】 反射面の光学特性を最適とするように反射鏡を支持する保持装置を提供する。【解決手段】 支持部材50,150,250の支持点は、凹面鏡M1の凹曲面M1aの中心から凹面鏡M1の外周の少なくとも0.6倍の距離離れた円周上の位置にあるので、凹面鏡M1のたわみを幾何学上小さく抑えることができ、それにより例えば凹面鏡M1の加工時における修正量を小さくすることができる。一方かかる支持点は、円周上に等間隔に配置されているので、凹面鏡M1のたわみを点対称なものとすることができ、それによりたわみの再現性を向上させることができる。

Claim (excerpt)：

反射光学部材を保持する保持装置であって、前記反射光学部材の反射面に対する裏面を少なくとも3点で支持する支持機構を有し、前記支持機構の支持点は、前記反射面の中心から前記反射光学部材の外周の少なくとも0.6倍の距離離れた円周上の位置にあり、かつ前記円周上に等間隔に配置されていることを特徴とする保持装置。

IPC (3)：

G02B 7/198 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (4)：

G02B 7/18 C ,  G03F 7/20 521 ,  G02B 7/18 B ,  H01L 21/30 515 D