遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小栗昌平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000402246
Publication number (International publication number)：2002202607
Application date： Dec. 28, 2000
Publication date： Jul. 19, 2002
Summary：

【要約】【課題】コンタクトホールパターン解像における露光マージン及びデフォーカスラチチュードが改善された遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物を提供すること。【解決手段】活性光線又は放射線の照射によりパーフルオロアルカンスルホン酸を発生する化合物、及び特定構造の酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂を含有することを特徴とする遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物。

Claim (excerpt)：

(A)活性光線又は放射線の照射によりスルホン酸を発生する、下記一般式(I’)〜(III’)で表される化合物、及び(B)下記一般式(I)で示される繰り返し構造単位、一般式(II)で示される繰り返し構造単位、及び一般式(III)で示される繰り返し構造単位を含み、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂を含有することを特徴とする遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物。【化1】【化2】【化3】【化4】上記一般式(I')〜(III')中:R51〜R87は、各々独立に、水素原子、直鎖状、分岐状あるいは環状アルキル基、直鎖状、分岐状あるいは環状アルコキシ基、ヒドロキシル基、ハロゲン原子、又は-S-R88基を表す。R88は、直鎖状、分岐状あるいは環状アルキル基又はアリール基を表す。また、R51〜R65、R66〜R77、R78〜R87のうち、2つ以上が結合して、単結合、炭素、酸素、イオウ、及び窒素から選択される1種又は2種以上を含む環を形成していてもよい。X-は、RFSO3-を表す。ここでRFは、炭素数2以上のフッ素置換された直鎖状、分岐状あるいは環状アルキル基である。一般式(I)中:R11〜R14は、各々独立に、酸の作用により分解する基、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、-COOH、-COOR15、-C(=O)-X-A-R16、又はアルキル基或いは環状炭化水素基を表し、且つR11〜R14の内少なくとも1つは酸の作用により分解する基を表す。また、R11〜R14のうち少なくとも2つが結合して環を形成してもよい。nは0又は1を表す。ここで、R15は、アルキル基、環状炭化水素基又は下記の-Y基を表す。Xは、酸素原子、硫黄原子、-NH-、-NHSO2-、又は-NHSO2NH-を表す。Aは、単結合、アルキレン基、シクロアルキレン基、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、エステル基よりなる群から選択される単独或いは2つ以上の基の組み合わせを表す。R16は、-COOH、-COOR15、-CN、水酸基、アルコキシ基、-CO-NH-R17、-CO-NH-SO2-R17又は下記の-Y基を表す。R17は、アルキル基又は環状炭化水素基を表す。-Y基;【化5】-Y基中、R21〜R30は、各々独立に、水素原子又はアルキル基を表す。a、bは、1又は2を表す。一般式(II)中:Z2は、-O-又は-N(R41)-を表す。ここでR41は、水素原子、水酸基、アルキル基、ハロアルキル基又は-OSO2-R42を表す。R42は、アルキル基、ハロアルキル基、シクロアルキル基又は樟脳残基を表す。一般式(III)中:R91は、水素原子、低級アルキル基、ハロゲン原子又は-CNを表す。X5は、-O-、-S-、-NR93-、又は-NR93SO2-を表す。R93は、水素原子、鎖状又は環状アルキル基を表す。Bは、単結合または連結基を表す。R92は、水素原子、鎖状又は環状アルキル基、アルコキシ基、水酸基、カルボキシ基、シアノ基、-COOR94、又は下記一般式(IV)〜(X)のいずれかで表される基を表す。R94は、水素原子、または鎖状又は環状アルキル基を表す。【化6】-N+(R95)(R96)(R97)・X- (VIII)-R98-A50-R99 (IX)-SO3R100 (X)式(IV)において、Ra1、Rb1、Rc1、Rd1、及びRe1は、各々独立に、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表す。m、nは各々独立に0〜3の整数を表し、m+nは、2以上6以下である。式(V-1)〜(V-4)において、R1b〜R5bは、各々独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基又はアルケニル基を表す。R1b〜R5bの内の2つは、結合して環を形成してもよい。式(VII)において、R1d〜R8dは、各々独立に、水素原子又はアルキル基を表す。Rd0は、水素原子、鎖状または環状アルキル基、アリール基又はアラルキル基を表す。mは、1〜10の整数を表す。式(VIII)中、R95〜R97は、各々独立に、水素原子、鎖状または環状アルキル基、アルケニル基、アリール基、又はアラルキル基を表す。但し、R95〜R97は互いに結合して非芳香環、芳香環を形成しても良い。X-は、R-SO3-を表す。Rは脂肪族炭化水素基又は芳香族炭化水素基を表す。式(IX)中、R98は、単結合、アルキレン基、アリーレン基、又はこれらを組み合わせた2価の基を表す。A50は、下記に示す官能基のいずれかを表す。【化7】R99は、水素原子またはアルキル基を表す。式(X)中、R100は、鎖状又は環状アルキル基、アリール基又はアラルキル基を表す。

IPC (13)：

G03F 7/039 601 , C08F220/00 , C08F222/00 , C08F232/00 , C08K 5/00 , C08K 5/16 , C08K 5/42 , C08L 33/00 , C08L 35/00 , C08L 45/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/033 , H01L 21/027

FI (13)：

G03F 7/039 601 , C08F220/00 , C08F222/00 , C08F232/00 , C08K 5/00 , C08K 5/16 , C08K 5/42 , C08L 33/00 , C08L 35/00 , C08L 45/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/033 , H01L 21/30 502 R

F-Term (100)：

2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB08 , 2H025CB10 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025CB42 , 2H025CB45 , 2H025CB48 , 2H025CC04 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 4J002BG071 , 4J002BG121 , 4J002BH021 , 4J002BK001 , 4J002ER028 , 4J002EU028 , 4J002EU048 , 4J002EU078 , 4J002EU098 , 4J002EU108 , 4J002EU118 , 4J002EU128 , 4J002EU138 , 4J002EU238 , 4J002EV236 , 4J002EV256 , 4J002FD206 , 4J002FD208 , 4J002FD317 , 4J002GP03 , 4J100AJ02R , 4J100AK32Q , 4J100AL03R , 4J100AL04R , 4J100AL08R , 4J100AL08S , 4J100AM21R , 4J100AM43Q , 4J100AM45Q , 4J100AM47Q , 4J100AR09P , 4J100AR11P , 4J100BA02P , 4J100BA02R , 4J100BA03Q , 4J100BA03R , 4J100BA03S , 4J100BA05P , 4J100BA05R , 4J100BA06P , 4J100BA11P , 4J100BA11Q , 4J100BA11R , 4J100BA12R , 4J100BA15P , 4J100BA15R , 4J100BA16R , 4J100BA28R , 4J100BA32R , 4J100BA34R , 4J100BA37R , 4J100BA38R , 4J100BA40R , 4J100BA55Q , 4J100BA55R , 4J100BA58R , 4J100BA59R , 4J100BB01R , 4J100BB07Q , 4J100BB18Q , 4J100BC02R , 4J100BC03P , 4J100BC03R , 4J100BC04P , 4J100BC04R , 4J100BC08P , 4J100BC08Q , 4J100BC08R , 4J100BC09P , 4J100BC09R , 4J100BC09S , 4J100BC12R , 4J100BC23R , 4J100BC43R , 4J100BC48R , 4J100BC53P , 4J100BC53R , 4J100BC58R , 4J100CA03 , 4J100CA05 , 4J100JA38

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