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J-GLOBAL ID:200903053651832880

マイクロレンズの製造方法、その製造方法で製造したマイクロレンズ、そのマイクロレンズを使用した光デバイス装置、およびその光デバイス装置のスライダー

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 酒井 宏明
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999051781
Publication number (International publication number):2000280366
Application date: Feb. 26, 1999
Publication date: Oct. 10, 2000
Summary:
【要約】【課題】 高NAのマイクロレンズを容易に製造することが可能なマイクロレンズの製造方法を提供すること。【解決手段】 本発明に係るマイクロレンズの製造方法は、少なくとも片面に、基板表面より深い位置にマイクロレンズ105が形成された第1および第2の基板102を製造する工程(図1(C)参照)と、当該第1および第2の基板102のマイクロレンズ105が形成された面同士を対向させて貼り合わせる工程(図1(E)参照)とを含むものである。
Claim (excerpt):
2つの基板を貼り合わせてマイクロレンズを製造するマイクロレンズの製造方法において、少なくとも片面に、基板表面より深い位置にマイクロレンズが形成された第1の基板を製造する第1の工程と、少なくとも片面に、マイクロレンズが形成された第2の基板を製造する第2の工程と、前記第1および第2の基板のマイクロレンズが形成された面同士を対向させて貼り合わせる第3の工程と、を含むことを特徴とするマイクロレンズの製造方法。
IPC (3):
B29D 11/00 ,  C03C 27/10 ,  G02B 3/00
FI (3):
B29D 11/00 ,  C03C 27/10 E ,  G02B 3/00 Z
F-Term (23):
4F213AA44 ,  4F213AD04 ,  4F213AD08 ,  4F213AG28 ,  4F213AH33 ,  4F213AH74 ,  4F213WA15 ,  4F213WA31 ,  4F213WA53 ,  4F213WA58 ,  4F213WA90 ,  4F213WA97 ,  4F213WB01 ,  4G061AA13 ,  4G061AA18 ,  4G061BA12 ,  4G061CA02 ,  4G061CB04 ,  4G061CB16 ,  4G061CD03 ,  4G061CD10 ,  4G061CD18 ,  4G061DA36
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (10)
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