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J-GLOBAL ID：200903053653146606

光共振器

Inventor： 大内 泰司 ,  大和 壮一
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 三品 岩男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998062532
Publication number (International publication number)：1999261140
Application date： Mar. 13, 1998
Publication date： Sep. 24, 1999
Summary：

【要約】【課題】進行波型外部共振器方式において共振器長を変化あるいは共振器長の変化を補正しながらも、入射光と共振器内ビームの位置関係、出射するレーザ光の光軸位置を変化させないレーザ光共振器を提供する。【解決手段】入射反射鏡41、出射反射鏡42、第1、第2反射鏡43、44から構成された共振器と、当該共振器内に配置された非線形結晶21と、第1、第2反射鏡43、44の位置を変位させるための微動装置51a、51bとを備え、入射反射鏡41、出射反射鏡42が凹面鏡、第1、第2反射鏡43、44が平面鏡である場合には、第1、第2反射鏡43、44を各反射面の法線方向に沿って同じ距離だけ移動させる。

Claim (excerpt)：

3個以上の反射鏡から構成され、入射光を目的とする特性の光に変換して出射する光共振器において、前記3個以上の反射鏡のうちの2個を互いの反射面が対称配置した一対の反射鏡として設けると共に、前記一対の反射鏡をそれぞれ微動させる微動手段を備え、前記微動手段は、前記出射光の位置が前記微動前後で変わらないように、前記一対の反射鏡を移動させることを特徴とする光共振器。

IPC (4)：

H01S 3/081 ,  G02F 1/37 ,  H01S 3/08 ,  H01S 3/109

FI (4)：

H01S 3/081 ,  G02F 1/37 ,  H01S 3/109 ,  H01S 3/08 Z