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J-GLOBAL ID：200903053656970474
走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996254838
Publication number (International publication number)：1998104243
Application date： Sep. 26, 1996
Publication date： Apr. 24, 1998
Summary：
【要約】【課題】高い横方向分解能のAFM測定とSNOM測定と、高精度のエバネッセント波検出とを実現する走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーを提供する。【解決手段】カンチレバー100は、支持部106と、支持部106から延出した三角形状のレバー部104と、レバー部104の先端に形成された探針部102を有している。探針102は、三角錐の側面が内側に湾曲した疑似三角錐形状を有しており、側面の傾斜は先端に近いほど大きい。探針部102は、その先端近傍のみがアルミニウム製の反射膜108によって被覆されている。反射膜108は、例えば、探針先端から100nmの範囲を覆っている。
Claim (excerpt)：
支持部と、支持部から延出したレバー部と、レバー部の先端に形成された三角錐形状の探針と、探針の先端を被覆する電磁場反射膜とを備えている走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 37/00 E
, G01B 21/30 Z
