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J-GLOBAL ID:200903053686800131
金属材料表面の欠陥原因判定方法および装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
矢葺 知之 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998211167
Publication number (International publication number):1999101746
Application date: Jul. 27, 1998
Publication date: Apr. 13, 1999
Summary:
【要約】【課題】 この発明は金属材料表面の欠陥発生原因を確実かつ迅速に判定する方法と、その装置を提供する。【解決手段】 金属材料S表面の欠陥部Fにパルスレーザー光PLの照射位置を固定し、パルスレーザー光PLを前記照射位置に照射し、照射部より発生する発光光を分光分析して得られた発光スペクトルと、正常部にパルスレーザー光PLを照射し、照射部より発生する発光光を分光分析して得られた発光スペクトルとを比較することにより、欠陥部Fと正常部に存在する元素およびその発光強度の差から、欠陥部を生じさせた原因を判定する。パルスレーザー光PLを繰り返し照射することにより、金属材料Sの内部まで掘削できる。そのため、表面まで達していない異質部分により欠陥が発生した場合でも、見落とすことなく原因を判定できる。また、切断研磨のような前処理なしに分析できるので、欠陥判定作業を迅速化ができる。
Claim (excerpt):
金属材料表面の欠陥部にパルスレーザー光の照射位置を固定し、パルスレーザー光を前記照射位置に照射し、照射部より発生する発光光を分光分析して得られた発光スペクトルと、正常部にパルスレーザー光を照射し、照射部より発生する発光光を分光分析して得られた発光スペクトルとを比較することにより、欠陥部と正常部に存在する元素およびその発光強度の差から、欠陥部を生じさせた原因を判定することを特徴とする金属材料表面の欠陥原因判定方法。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (13)
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特許第2697462号
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鋼材表面の異常原因判定分析方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-309975
Applicant:日本鋼管株式会社
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特開昭57-100323
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表面分析装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平2-414479
Applicant:株式会社島津製作所
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レーザ気化分析装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-294788
Applicant:日本鋼管株式会社
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炭化物の分析装置および分析方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-003059
Applicant:三菱重工業株式会社
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特開昭54-041791
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特許第2697462号
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特開昭57-100323
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特開昭54-041791
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特許第2697462号
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特開昭57-100323
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特開昭54-041791
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