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J-GLOBAL ID：200903053696342930
ネガ型フオトレジスト組成物
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991268572
Publication number (International publication number)：1993080513
Application date： Sep. 20, 1991
Publication date： Apr. 02, 1993
Summary：
【要約】【目的】 高感度でかつ高解像力、そして更に現像残りの発生しにくいネガ型感光性組成物を提供する。【構成】 光酸発生剤と酸硬化剤及びアルカリ可溶性樹脂とからなる感光性ネガ型レジスト組成物において、該アルカリ可溶性樹脂が、m-クレゾールとp-クレゾールとをフォルムアルデヒドで共縮合したノボラック樹脂であって、かつ該樹脂の重水素化ジメチルスルフォキシド溶液の13C-NMRスペクトルに於て、23.0〜31.0ppmまでのピーク積分値をA、31.0〜34.0ppmまでのピークの積分値をB、34.0〜37.0ppmまでのピークの積分値をCとした際に、X=A/A+B+Cと該ノボラック樹脂中のm-クレゾール含量との関係が図1に示された斜線の部分に該当する(斜線部の周囲の直線上の部分を含む)。
Claim (excerpt)：
輻射線の作用下で酸を生成する化合物、酸架橋性物質、及びアルカリ可溶性樹脂を含有してなるネガ型フオトレジスト組成物に於て、該アルカリ可溶性樹脂がm-クレゾールとp-クレゾールとの混合物とフォルムアルデヒドの縮合物であり、かつ該アルカリ可溶性樹脂の重水素化ジメチルスルフォキシド溶液の13C-NMRスペクトルに於て、23.0〜31.0ppmまでのピーク積分値をA、31.0〜34.0ppmまでのピークの積分値をB、34.0〜37.0ppmまでのピークの積分値をCとした際に、X=A/A+B+Cと該アルカリ可溶性樹脂中のm-クレゾール含量との関係が図1に示された斜線の部分に該当することを特徴とするネガ型フオトレジスト組成物(斜線部の周囲の直線上の部分を含む)。
IPC (5)：
G03F 7/038 501
, G03F 7/004 503
, G03F 7/023 511
, G03F 7/029
, H01L 21/027
Cited by examiner (8)
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