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J-GLOBAL ID：200903053697885244
低誘電性高分子化合物、その中間体及びそれらの製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小島 隆司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998021451
Publication number (International publication number)：1999209449
Application date： Jan. 19, 1998
Publication date： Aug. 03, 1999
Summary：
【要約】【解決手段】 下記一般式(VIII)で示される重量平均分子量が1,000〜60,000の高分子化合物。【化1】(式中、Rは水素原子、フッ素原子又は炭素数1〜3のアルキル基である。R’’’はメチル基又はOR”基であり、R”は水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基である。m,nは平均値で、m=0〜2、n=0〜2である。p,qはp:q=1:10〜10:1で、p+q=1を満足する正数、rは上記高分子化合物(VIII)の重量平均分子量を1,000〜60,000とする数である。)【効果】 本発明によれば、直接法シラン合成における副生物の有効利用を計ることができ、得られた式(VIII)のポリマーは環状シロキサンの骨格を有するポリマーで、半導体等の各種基板に対する接着性に優れていると共に、アルキル基が環状シロキサンの骨格の一部を形成し、誘電率が非常に低いものである。
Claim (excerpt)：
下記一般式(VIII)で示される重量平均分子量が1,000〜60,000の高分子化合物。【化1】(式中、Rは水素原子、フッ素原子又は炭素数1〜3のアルキル基である。R’’’はメチル基又はOR”基であり、R”は水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基である。m,nは平均値で、m=0〜2、n=0〜2である。p,qはp:q=1:10〜10:1で、p+q=1を満足する正数、rは上記高分子化合物(VIII)の重量平均分子量を1,000〜60,000とする数である。)
IPC (4)：
C08F299/08
, C07F 7/12
, C08F130/08
, C08G 77/50
C08F299/08
, C07F 7/12 W
, C08F130/08
, C08G 77/50
