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J-GLOBAL ID：200903053738392746

照明装置及び該照明装置を用いた露光装置

Inventor： 渥美 しのぶ ,  浜谷 正人
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992073969
Publication number (International publication number)：1993275317
Application date： Mar. 30, 1992
Publication date： Oct. 22, 1993
Summary：

【要約】【目的】 レーザ光源から射出されるレーザビームの空間的コヒーレンスの変化によらず、安定な照明特性、又は投影特性を維持する。【構成】 レーザビームの発散角の変化を検出するセンサーを設け、該センサーの出力に応じてレーサ光源内の光学素子のうち、ビームのコヒーレンスを変化させる素子を位置調整する。

Claim (excerpt)：

所定の空間的コヒーレンスを有するビームを射出するレーザ光源と、該ビームを照明対象にほぼ均一な強度分布で照射するための強度分布均一化手段とを備えた照明装置において、前記ビームの空間的コヒーレンスに応じた値を検知する検知手段と;該検知された値が予め定められた範囲内に設定されるように、前記レーザ光源内の光学条件を調整する調整手段とを備えたことを特徴とする照明装置。

IPC (5)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01S 3/00 ,  H01S 3/139

FI (2)：

H01L 21/30 311 S ,  H01L 21/30 311 L

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 特開昭62-165985
  
• 特開平3-065623
  

Cited by examiner (3)

• 特開昭62-165985
  
• 特公昭62-050576
  
• 特開昭51-082029